合片工作台
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专利申请号:
CN201310411191.6
专利类型:
发明专利
技术分类:
H01L21/603
专利有效期:
2033-09-09
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专利信息
专利名称:合片工作台
商品编号:25173
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申请日期:2013-09-09
公开/公告号:CN103456651A
授权公告日/公开日:2013-12-18
申请/专利权人:
江阴***公司
发明/设计人:
白**
主分类号:H01L21/603
IPC分类号:H01L21/603
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种合片工作台,包括用于对物料M进行上料的上片机构、用于对物料N进行上料的上板机构、对物料N的上表面的边沿进行涂胶的喷胶机构、设置定位盘的用于键合物料M和物料N的合片平台、以及运行于上述机构之间的吊装机构,还包括控制系统。所述喷胶机构包括设置于底座上部的定位台面,定位台面的上方设置一受机械装置控制的在水平面内运动的喷胶针头,所述定位台面的上方还设置通过水泵与水箱连通的清洗喷头,定位盘面的四周设置与水箱连通的清洗液回收口。本发明具有自动化程度高、生产效率高、工作环境无污染、成本低、键合后无气泡、键合强度高的优点。
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