一种半导体元件清洗装置

本实用新型公开了一种半导体元件清洗装置，包括清洗箱、回收箱、处理装置和清洗装置，清洗装置设置在清洗箱内部，清洗装置包括水箱、进水管、出水管、雾化喷头和清洗筒，清洗筒两端连接有连接轴，连接轴外端分别连接有第一液压杆和第二液压杆，水箱内部设置有离心泵，清洗箱两侧均设置有超声波发生器和搅拌轴，回收箱和清洗箱之间通过导通管连接在一起，导通管设置在清洗箱底端，处理装置设置在回收箱内部，该装置一次可以清洗多个半导体元件，且通过气雾方式和水洗方式进行清洗，同时采用搅拌和超声波振荡的方式加快清洗速度，清洗更加干净彻底，同时清洗后的水便于回收循环利用，节能环保，值得推广。