氮铝化钛薄膜及其制备方法

本发明涉及厨具的复合涂层领域，具体公开了一种氮铝化钛薄膜及其制备方法，该制备方法在不同的气氛中依次在基材上形成第一扩散层、第二扩散层和第三扩散层，最终得到形成有包括所述第一扩散层、第二扩散层和第三扩散层的氮铝化钛薄膜的基材。本发明的方法能够去除靶中或沉积薄膜中的污染物，减少氮铝化钛薄膜中缺陷的产生，并且能够提高沉积效率和沉积的均匀性，并且该制备方法简单，易于实现，具有较高的市场应用价值。应用该制备方法制备得到的氮铝化钛薄膜沉积均匀，表面无颗粒等污染缺陷，更适合作为镀膜使用，可以广泛用于锅具、刀具等厨具产品。