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一种Z轴微旋转平台

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专利申请号
CN201610633209.0
专利类型
发明专利
技术分类
G12B9/10
专利有效期
2036-08-04
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专利信息
专利名称:一种Z轴微旋转平台
商品编号:4926541
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申请日期:2016-08-04
公开/公告号:CN106297900B
授权公告日/公开日:2019-01-04
申请/专利权人: 苏**学
发明/设计人: 钟**
主分类号:G12B9/10
IPC分类号:G12B9/10
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本发明涉及一种Z轴微旋转平台,包括台体和设置在台体内的动台体,动台体的四个直角与台体之间连接有柔性铰链,连接动台体两对角的柔性铰链的中心线与动台体相应的对角线在同一条直线上;台体内设置有两伸入动台体内部的压电陶瓷,两压电陶瓷分别从动台体两平行的侧壁伸入动台体内部,且两压电陶瓷相对动台体的中心呈对角关系;台体内还安装有与压电陶瓷端部相抵的预紧顶丝。本发明通过设置两相对动台体的中心呈对角关系的压电陶瓷,在压电陶瓷通电情况下,能够驱使动台体以其中心为轴心进行旋转,且由于两压电陶瓷对角设置,在工作时能相互消除两自由度上的耦合位移,不会产生旋转误差,定位精度更高。

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