一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法及装置

本发明公开了一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法及装置，属于电化学机械抛光领域。本发明的高效抛光加工方法包括以下步骤：a、构建活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元，将活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元布置在回转体工件的**，以便向工件喷射活性电解液和钝性电解液，并在每个活性电解液电解单元与钝性电解液电解单元之间设置机械光整机构以去除钝化膜；b、转动工件，进行抛光加工，在该抛光加工过程中，电解去除、钝化保护、机械去除钝化膜交替进行过程，直到达到加工要求。本发明通过活性电解液加速工件表面高凸部分材料的溶解蚀除，可幅提高电化学机械抛光的加工效率。