加载中...
- [切换]
猜你想去
  • 全国
热门城市
交易市场 专利库 一种三维电感线圈及其制备方法
  • 一种三维电感线圈及其制备方法
浏览量:96 收藏

发布时间: 2021-09-26

一种三维电感线圈及其制备方法

发明授权   有效专利

价格 3~5万

活动 补贴官费 直降 更多优惠

  • 发明授权
  • H01F17/00
  • CN201610093143.0
  • 2017-08-25
  • CN105742005B
  • 完全转让
  • 2036-2-21
  • 林**查看
即买即用 签署合同 全国布局 担保交易 全国十强知识产权代理机构,请放心交易
即买即用省心
专属顾问
精益求精,臻于至善

您对该专利有疑问,需要匹配专利
或了解售后保障等,请随时咨询我

交易动态

  • 5小时前  9***P1C成功找到了外观专利
  • 3小时前  8***2Uz成功找到了实用新型专利
  • 1小时前  2****119成功找到了外观专利
  • 5小时前  6****qLm成功找到了外观专利
  • 5小时前  0***27J成功找到了外观专利
  • 3小时前  A****z51成功找到了实用新型专利
  • 4小时前  u****9LE成功找到了发明专利
  • 4小时前  4***9Iz成功找到了实用新型专利
  • 2小时前  r****S68成功找到了外观专利
  • 1小时前  7****t85成功找到了发明专利
  • 9小时前  6****2z6成功找到了实用新型专利
  • 10小时前  P****1mc成功找到了外观专利
  • 9小时前  t***khA成功找到了外观专利
  • 11小时前  D***1JS成功找到了外观专利
  • 2小时前  w****r17成功找到了发明专利
  • 4小时前  1***pC5成功找到了外观专利
  • 3小时前  5***42O成功找到了发明专利
  • 5小时前  0****7zP成功找到了发明专利
  • 11小时前  0***vd8成功找到了外观专利
  • 3小时前  9****9FB成功找到了实用新型专利
  • 11小时前  U****49z成功找到了实用新型专利
  • 4小时前  5***bV0成功找到了发明专利
  • 5小时前  C****ZiS成功找到了发明专利
  • 1小时前  6***55j成功找到了发明专利
  • 2小时前  2***94H成功找到了发明专利
  • 1小时前  h***71s成功找到了实用新型专利
  • 5小时前  P***2hc成功找到了实用新型专利
  • 6小时前  9****7YC成功找到了实用新型专利
  • 6小时前  q***134成功找到了实用新型专利
  • 6小时前  7***99w成功找到了外观专利
  • 2小时前  3***835成功找到了发明专利
  • 11小时前  2****Az6成功找到了发明专利
  • 7小时前  o****63S成功找到了发明专利
  • 10小时前  D****1r2成功找到了实用新型专利
  • 11小时前  R***841成功找到了外观专利
  • 5小时前  0***197成功找到了实用新型专利
  • 2小时前  p****199成功找到了外观专利
  • 11小时前  X****0mX成功找到了实用新型专利
  • 1小时前  X***20X成功找到了实用新型专利
  • 5小时前  5****7I1成功找到了实用新型专利

猜您喜欢

  • 一种用于轻型车辆的空气传动装置

    实用新型

    一种用于轻型车辆的空气传动装置

    可议价

    免费咨询
  • 洗菜篮

    外观设计

    洗菜篮

    1~3万

    免费咨询
  • 一种适用于居家的自动调节通风量的静音通风装置

    实用新型

    一种适用于居家的自动调节通风量的静音通风装置

    3~5万

    免费咨询
  • 儿童教具(3D迷你食用菌农场)

    外观设计

    儿童教具(3D迷你食用菌农场)

    可议价

    免费咨询
  • 一种可以故障诊断的钢筋拉直机

    实用新型

    一种可以故障诊断的钢筋拉直机

    可议价

    免费咨询
  • 一种能够准确搜寻果实位置的果实采摘机

    实用新型

    一种能够准确搜寻果实位置的果实采摘机

    3~5万

    免费咨询
  • 一种具有对车轮辐板进行烘干的自动除锈装置

    实用新型

    一种具有对车轮辐板进行烘干的自动除锈装置

    3~5万

    免费咨询
  • 一种金属粉末加工用密封型研磨装置

    实用新型

    一种金属粉末加工用密封型研磨装置

    可议价

    免费咨询
  • 发明授权

    一种平网架葡萄整形方法

    可议价

    免费咨询
  • 家具多变组合连接配件

    外观设计

    家具多变组合连接配件

    1~3万

    免费咨询
  • 展开更多

专利 · 信息

Patent Message

著录项

  • CN201610093143.0
  • 2016-02-21
  • CN105742005B
  • 2017-08-25
  • 林**
  • 林**
  • H01F17/00
  • H01F17/00; H01F27/28; H01F41/04; H01F41/18; H01F41/20; B81B7/00; B81C1/00

说明书摘要

本发明针对现有MEMS三维电感线圈存在的不足,提供一种三维电感线圈,包括柔性衬底、薄膜导线、磁性电极、软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极、绝缘层、磁芯薄膜、引线,其中,软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极位于柔性衬底的上边缘,磁性电极位于柔性衬底的下边缘,且柔性衬底上边缘、下边缘的电极通过薄膜导线连通;柔性衬底沿着中心线弯折后,通过磁性电极与软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极的吸引,自动实现三维电感线圈电极的对应和连通。本发明采用柔性衬底、磁性电极,结构、制备方法简单,只需要光刻的lift‑off工艺,不需要后续刻蚀工艺,适合低成本的MEMS三维电感的制作,也为发展新型的三维MEMS电感提供了思路。

免费下载说明书

权利要求

权利要求数量(3)   独立权利要求数量(3)
  • +

    1.一种三维电感线圈,包括柔性衬底、薄膜导线、磁性电极、软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极、绝缘层、磁芯薄膜、引线,其特征在于:

    所述的薄膜导线、磁性电极、软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极位于柔性衬底上,软磁薄膜引线电极共2个,位于柔性衬底上边缘的左右两侧;

    所述的软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极的总个数与磁性电极的个数相同,且软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极位于柔性衬底的上边缘,磁性电极位于柔性衬底的下边缘,软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极与磁性电极以柔性衬底的中心线为对称线,一一对应;

    从柔性衬底的左侧起,第一个磁性电极与第一个软磁薄膜电极通过薄膜导线相连接,第二个磁性电极与第二个软磁薄膜电极通过薄膜导线相连接,以此类推,且倒数第二个磁性电极与软磁薄膜引线电极通过薄膜导线相连接;

    所述的绝缘层位于薄膜导线上,位于软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极与磁性电极之间;

    所述的磁芯薄膜位于绝缘层之上;

    所述的引线连接在软磁薄膜引线电极上;

    所述的柔性衬底沿着中心线弯折后,第一个磁性电极与最左侧的软磁薄膜引线电极相吸引,倒数第一个磁性电极与最右侧的软磁薄膜引线电极相吸引,介于第一个磁性电极与倒数第一个磁性电极之间的磁性电极与对应的软磁薄膜电极相吸引,自动实现三维电感线圈电极的对应和连通。

  • +

    2.根据权利要求1所述的一种三维电感线圈,其特征在于:

    所述的柔性衬底为绝缘的塑料柔性衬底或者是不锈钢柔性衬底上沉积有绝缘的薄膜;

    所述的磁性电极为矫顽力大于30 Oe的金属性磁性薄膜,且其厚度大于500 nm;

    所述的软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极为矫顽力小于3 Oe的金属性软磁薄膜,且其厚度大于300 nm;

    所述的磁芯薄膜为软磁铁氧体薄膜或软磁金属薄膜,其厚度大于100 nm;

    所述的薄膜引线为金属薄膜材料,其厚度大于30 nm;

    所述的软磁薄膜引线电极的面积大于软磁薄膜电极或磁性电极的面积,且软磁薄膜电极和磁性电极的面积相同。

  • +

    3.根据权利要求1所述的一种三维电感线圈,其特征在于:所述的三维电感线圈的制备方法如下:

    步骤1:利用光刻的曝光、显影工艺,在柔性衬底上制备出薄膜导线的图案;

    步骤2:利用磁控溅射的方法在薄膜导线的图案上沉积金属薄膜,并利用丙酮将光刻胶清洗掉,完成薄膜导线的制备;

    步骤3:利用光刻的曝光、显影工艺,在柔性衬底上制备出磁性电极、软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极的图案,且上述图案与薄膜导线形成交叠;

    步骤4:利用掩膜板遮挡住磁性电极的图案;

    步骤5:利用磁控溅射的方法在软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极的图案处沉积金属性软磁薄膜;

    步骤6:利用掩膜板遮挡住软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极;

    步骤7:利用磁控溅射的方法在磁性电极的图案处沉积矫顽力大于30 Oe的金属性磁性薄膜,当在沉积温度小于200度时,柔性衬底选择塑料柔性衬底或者是沉积有绝缘薄膜的不锈钢柔性衬底,当沉积温度大于200度时,柔性衬底选择有绝缘薄膜的不锈钢柔性衬底;

    步骤8:利用丙酮将光刻胶清洗掉,完成磁性电极、软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极的制备;

    步骤9:利用光刻的曝光、显影工艺,完成磁芯薄膜的图案制备;

    步骤10:利用磁控溅射的方法在磁芯薄膜的图案处依次制备绝缘层、磁芯薄膜,并利用丙酮清洗光刻胶;

    步骤11:将引线通过银胶固定在软磁薄膜引线电极上;

    步骤12:将经过步骤11后的柔性衬底放置在磁场中,磁场强度在0.1到2 T之间,对磁性电极进行充磁,充磁时间大于10 min;

    步骤13:将柔性衬底沿着中心线弯折,充磁后的磁性电极吸引软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极,自动实现三维电感线圈电极的对应和连通,形成三维电感线圈;

    步骤14:将经过步骤13的三维电感线圈的边缘采用万能胶水进行密封。

专家解读

专利 · 价值

Brand value

价值度评估

28.6
23.7
28.7
80.9分

80-100表示价值较高

50-70表示中等价值

50以下表示价值较低

总评分80.9

该专利价值较高 (仅供参考)

专利价值度是通过科学的评估模型对专利价值进行量化的结果,基于专利大数据针对专利总体特征指标利用计算机自动化技术对待评估专利进行高效、智能化的分析,从技术、经济和法律价值三个层面构建专利价值评估体系,可以有效提升专利价值评估的质量和效率. 其中80-100表示价值较高,值得购买,50-70表示中等价值,50以下表示价值较低

下载完整版报告
王树辉
10年工作经验
咨询专家

专家解读

该专利的技术、经济、法律价值经系统自动评估后的总评得分处于平均水平,可以重点研究利用其技术价值,根据法律价值的评估结果选择合适的使用借鉴方式。 本专利文献中包含【7个技术分类】,从一定程度上而言上述指标的数值越大可以反映出所述专利的技术保护及应用范围越广。 【专利权的维持时间67个月】专利权的维持时间越长,其价值对于权利人而言越高... 【查看全文】

交易 · 流程

Transaction Process

  • 提出需求

    提出您的专利需求

    顾问一对一服务

  • 顾问匹配

    顾问匹配资源库

    快速确定优质专利

  • 签订合同

    签订专利转让协议

    成功付款

  • 递交申请

    准备转让资料

    国知局审查办理

  • 领取证书

    领取证书

    获得专利权,投入使用

过户 · 资料

Required information

-买方- -八戒知识产权-
个人 身份复印件

专利代理委托书

专利转让合同

著录项目变更申请书

咨询顾问
企业 企业营业执照

金牌 · 顾问

Gold medal Consultant

  • 王树辉

    客户至上,服务至上

    专属顾问

    客户至上,服务至上

  • 谢莹

    严谨务实,尽善尽美

    专属顾问

    严谨务实,尽善尽美

  • 楚小莹

    精益求精,臻于至善

    专属顾问

    精益求精,臻于至善

安全 · 保障

Safety guarantee

  • 大平台海量资源
  • 免费匹配专利
  • 交易更放心
  • 流程更快更省心
  • 海量优质专利任意挑选,专业团队24小时全在线服务
  • 大数据分析+顾问人工对比百人服务团队,提供最合适的专利购买方案
  • 确定满意的方案后再付款平台全程担保保障资金安全
  • 八戒全程包办服务极速提交转让申请,快至3个工作日可使用专利

常见 · 问题

Safety guarantee

  • Q:专利交易有哪些类型?

    A:专利交易分为:完全转让、独占许可、排他许可、普通许可等方式。我们通常采用的交易方式为完全转让,即受让方完全拥有专利权,包含所有权与使用权。而许可单指拥有专利的使用权。
  • Q:专利的授权的有效期是多久?

    A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。
  • Q:办理手续需要多久?

    A:当专利局审查后,会对审查结果做出通知。如果审核通过的话,专利局一般会在2到6个月内发专利转让合格通知书。并且可以在国家知识产权局专利库中查询到相关的变更结果。
咨询更多常见问题

咨询您的专属交易顾问

顾问在线为您解惑