一种Pd基可变电容型氢气传感器及其制备方法

本发明公开了一种Pd基可变电容型氢气传感器及其制备方法。在掺杂单晶Si基片上热氧化生长SiO2层，在SiO2层中开有贯穿SiO2层的沉积孔，在沉积孔内沉积可动电极Pd基材料；在SiO2层的上表面开有与沉积孔连通的通气槽，静止电极导电平板键合于SiO2层上。在氢气存在的条件下，传感器内的Pd基可动电极吸收氢气发生可逆体积膨胀，使动/静电极间距缩短，电容增大，从而实现对氢气浓度的监控。本发明提供的传感器的沉积孔具有横向限制作用，使Pd基可动电极的体积膨胀累加到高度方向，增大了传感响应，有效缩短了传感器的响应时间。同时，传感器采用标准Si基微加工工艺制作，成本和功耗较低，可批量生产，具有广阔市场前景。